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IMPAC IS 12-Si

Pirometri digitali di alto livello per misure di temperatura senza contatto su wafer di silicio a partire da 350°C


Informazioni aggiuntive su IS 12

  • Per misure su wafer di silicio
  • 4 Campi di misura tra 350 e 1800°C
  • Spettro: banda stretta nel vicino infrarosso, specifica per le misure sul silicio
  • 6 ottiche fisse e 3 ottiche regolabili
  • Tempo di risposta 10 ms, regolabile fino a 10 secondi

IS 12-Si è una speciale evoluzione di  IS 12, progettata appositamente per le misure su wafer di silicio.
Il pirometro è dotato di un filtro ottico a banda stretta nel vicino infrarosso. Questo consente misure affidabili su superfici sottili di silicio da 350°C che altrimenti sarebbero trasparenti per le radiazioni all’infrarosso. In questo speciale spettro l’emissività del silicio è 67% e quasi indipendente dalle temperature. Questo consente a IS 12-Si di rilevare la temperatura corretta del wafer di silicio.

All’inizio del campo di misura IS 12-Si è sensibile alla luce solare. La sensibilità diminuisce con l’aumento delle temperature. In applicazioni che richiedono basse temperature all’inizio del campo, questo effetto può essere evitato schermando la luce.


Applicazioni

  • Lastre di silicio
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